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乳酸乙酯在光刻膠中的應(yīng)用資料

什么是光刻膠光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑，由感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。感光樹(shù)脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┨幚恚苋タ扇苄圆糠?，得到所需圖像。光刻膠廣泛用于印刷電路和集成電路的制造以及印刷制版等過(guò)程。光刻膠的技術(shù)復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類(lèi)。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對(duì)某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠?；诟泄鈽?shù)脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)，光刻膠可以分為三種類(lèi)型。①光聚合型，采用烯類(lèi)單體，在光作用下生成自由基，自由基再進(jìn)一步引發(fā)單體聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特點(diǎn)。②光分解型，采用含有疊氮醌類(lèi)化合物的材料，經(jīng)光照后,會(huì)發(fā)生光分解反應(yīng),由油溶性變?yōu)樗苄裕梢灾瞥烧阅z。③光交聯(lián)型，采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開(kāi)，并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián)，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而起到抗蝕作用，這是一種典型的負(fù)性光刻膠。二、光刻膠的主要技術(shù)參數(shù) a、分辨率（resolution）。區(qū)別硅片表面相鄰圖形特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸（CD，Critical Dimension）來(lái)衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小，光刻膠的分辨率越好。b、對(duì)比度（Contrast）。指光刻膠從曝光區(qū)到非曝光區(qū)過(guò)渡的陡度。對(duì)比度越好，形成圖形的側(cè)壁越陡峭，分辨率越好。c、敏感度（Sensitivity）。光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形所需一定波長(zhǎng)光的最小能量值（或最小曝光量）。單位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對(duì)于波長(zhǎng)更短的深紫外光（DUV）、極深紫外光（EUV）等尤為重要。d、粘滯性/黏度（Viscosity）。衡量光刻膠流動(dòng)特性的參數(shù)。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加；高的粘滯性會(huì)產(chǎn)生厚的光刻膠；越小的粘滯性，就有越均勻的光刻膠厚度。光刻膠的比重（SG，Specific Gravity）是衡量光刻膠的密度的指標(biāo)。它與光刻膠中的固體含量有關(guān)。較大的比重意味著光刻膠中含有更多的固體，粘滯性更高、流動(dòng)性更差。粘度的單位：泊（poise），光刻膠一般用厘泊（cps，厘泊為1%泊）來(lái)度量。百分泊即厘泊為絕對(duì)粘滯率；運(yùn)動(dòng)粘滯率定義為：運(yùn)動(dòng)粘滯率=絕對(duì)粘滯率/比重。單位：百分斯托克斯（cs）＝cps/SG。e、粘附性（Adherence）。表征光刻膠粘著于襯底的強(qiáng)度。光刻膠的粘附性不足會(huì)導(dǎo)致硅片表面的圖形變形。光刻膠的粘附性必須經(jīng)受住后續(xù)工藝（刻蝕、離子注入等）。f、抗蝕性（Anti-etching）。光刻膠必須保持它的粘附性，在后續(xù)的刻蝕工序中保護(hù)襯底表面。耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。g、表面張力（Surface Tension）。液體中將表面分子拉向液體主體內(nèi)的分子間吸引力。光刻膠應(yīng)該具有比較小的表面張力，使光刻膠具有良好的流動(dòng)性和覆蓋。h、存儲(chǔ)和傳送（Storage and Transmission）。能量（光和熱）可以激活光刻膠。應(yīng)該存儲(chǔ)在密閉、低溫、不透光的盒中。同時(shí)必須規(guī)定光刻膠的閑置期限和存貯溫度環(huán)境。一旦超過(guò)存儲(chǔ)時(shí)間或較高的溫度范圍，負(fù)膠會(huì)發(fā)生交聯(lián)，正膠會(huì)發(fā)生感光延遲。光刻膠的應(yīng)用模擬半導(dǎo)體（Analog Semiconductors）發(fā)光二極管（Light-Emitting Diodes LEDs）微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectromechanical Systems MEMS）太陽(yáng)能光伏（Solar Photovoltaics PV）微流道和生物芯片（Microfluidics & Biochips）光電子器件/光子器件（Optoelectronics/Photonics）封裝（Packaging）乳酸乙酯在光刻膠中的應(yīng)用 1、做光刻膠的溶劑，主要是代替PMA、PM.?PMA介紹&sbquo;PM介紹 2、做光刻膠的清洗液，代替NMP.?光刻膠在IC行業(yè)的應(yīng)用，只要是有集成電路，它就會(huì)有光刻膠。另外，使用光刻膠的過(guò)程中，它有個(gè)清洗多余光刻膠的過(guò)程，這個(gè)清洗的過(guò)程，是用光刻膠蝕刻以后，用水和堿溶液清洗，但是在水和堿溶液清洗之前，有個(gè)中間的過(guò)渡過(guò)程，以前是用NMP來(lái)清洗，但是由于NMP有毒性，最近換成乳酸酯來(lái)清洗。這是在集成電路中的應(yīng)用。所以一般提供光刻膠，也會(huì)提供清洗液。所以做光刻膠和做光刻膠的清洗液用乳酸酯來(lái)替代是一個(gè)產(chǎn)品的組合。除集成電路以外，還有一個(gè)顯示器行業(yè)，LCD行業(yè)，主要是往兩塊玻璃板中間灌液晶，然后使用封裝膠封裝。封裝過(guò)后需要切邊，清洗，它也需要用乳酸酯來(lái)清洗，以前用NMP，現(xiàn)在用乳酸酯替代。它的的主要好處同樣是NMP有毒，對(duì)環(huán)境有污染。乳酸酯是對(duì)人體無(wú)毒的，對(duì)環(huán)境無(wú)害的。雖然乳酸酯的成本可能會(huì)高點(diǎn)，但是乳酸酯加上清洗回收工藝，基本通過(guò)回收液精餾能回收90%左右，補(bǔ)充清洗損耗的10%，精餾和純化的過(guò)程只需要$0.5/kg左右的成本，整個(gè)回收下來(lái)它是合算的。這樣供應(yīng)給清洗廠有一個(gè)價(jià)格，拿回來(lái)回收，重新蒸發(fā)，既解決了客戶(hù)的環(huán)保問(wèn)題，又降低了生產(chǎn)成本，長(zhǎng)期循環(huán)利用，是一個(gè)非常好的方案。

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乙基纖維素與聚 L2 乳酸接枝共聚物的合成與表征

以辛酸亞錫為催化劑 ,乙基纖維素( EC) 為接枝骨架 ,L2丙交酯(L2LA) 為接枝單體 ,在無(wú)溶劑條件下本體聚合制備了乙基纖維素2聚 L2乳酸接枝共聚物。利用 GPC , FTIR ,1 H NMR 對(duì)接枝共聚物進(jìn)行表征。結(jié)果

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碳酸鈣對(duì)聚乳酸 /酯化纖維素復(fù)合材料性能的影響

采用熔融共混工藝制備了聚乳酸（PLA）/ 酯化纖維素 /CaCO3 復(fù)合材料，通過(guò)力學(xué)性能測(cè)試、熱重分析、凝膠滲透色譜和紅外光譜分析，研究了CaCO3 對(duì)復(fù)合材料力學(xué)性能和熱穩(wěn)定性的影響。結(jié)果表明：CaCO3…

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三氯甲烷/乙醇混合溶劑對(duì)聚乳酸電紡成形影響的研究

用一系列不同組分配比的三氯甲烷/乙醇混合溶劑分別配制質(zhì)量百分比濃度為 4 % 和 6 %的聚乳酸（PLA）溶液，然后在相同紡絲參數(shù)下進(jìn)行電紡成形。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，隨著乙醇在混合溶劑中體積含量的增加，聚乳

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納米羥基磷灰石/ 絲素蛋白/ 聚己內(nèi)酯復(fù)合超細(xì)纖維的制備及表征

通過(guò)靜電紡絲法制備出納米羥基磷灰石/ 絲素蛋白/ 聚己內(nèi)酯復(fù)合超細(xì)纖維 , 利用掃描電鏡、紅外光譜儀、X 射線衍射儀對(duì)納米羥基磷灰石/ 絲素蛋白/ 聚己內(nèi)酯復(fù)合超細(xì)纖維形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征 , 并進(jìn)行了拉

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聚乳酸/ 納米石墨薄片復(fù)合材料的熱分解動(dòng)力學(xué)

采用溶液澆鑄法制得聚乳酸/ 納米石墨薄片復(fù)合材料. 以 TG/ DTG為手段 ,研究了該納米復(fù)合材料在氮?dú)鈿夥罩械臒岱纸庾兓?,利用 Flynn2Wall2Ozawa(FWO) 方程和 Friedman 方程對(duì)其進(jìn)行了動(dòng)力學(xué)分析.結(jié)果表

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PLA/ CoFe2O4載藥微球微觀結(jié)構(gòu)的表征和分析

采用乳化-溶劑揮發(fā)法制備了聚乳酸（polylactic acid，PLA）載硫酸慶大霉素復(fù)合微球。通過(guò)正交設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)優(yōu)選PLA載藥微球的最佳實(shí)驗(yàn)條件。在此基礎(chǔ)上利用微乳法制備的鐵酸鈷(CoFe2O4)制備了PLA/ CoFe2O4

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聚乳酸/ 納米 SiO2 共混物的熱性能

以?xún)煞N含有不同功能團(tuán)的納米 SiO2 對(duì)聚左旋乳酸(PLLA) 進(jìn)行了共混改性 ,從而提高了 PLLA 的性能。在納米 SiO2 的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為 0. 5～5 %范圍內(nèi) ,PLLA 與之是相容的 ,其中含有 —NH2 功能團(tuán)的 RNS 型納米…

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聚乳酸 /DM SO增塑淀粉復(fù)合材料的制備與表征

采用聚乳酸分別和純淀粉及二甲基亞砜 (DMSO) 塑化淀粉進(jìn)行共混制備了淀粉 /聚乳酸復(fù)合材料 , 通過(guò)力學(xué)性能測(cè)試 , DSC測(cè)試 , TG分析及 SEM觀察發(fā)現(xiàn)淀粉含量增加 , 材料力學(xué)性能降低 , 而經(jīng) DMSO塑化淀

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